《真空泵常见问题》PPT课件
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扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳 定性及耐氧化能力都较差，在室温下 的饱和蒸气压力10-5 pa ~ 10-7pa . 另一 种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较 好，室温下的饱和蒸气压力10-6pa ~ 10-8pa .
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5
在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温. 金属催化作用以及油爆发式沸腾，是 高分子的有裂化成低分子的碳氢化合 物及轻的气体(H2.CH4.C2H6等)。这些 裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很 高，限制了扩散泵的极限真空。
行
阻塞，冷却水是否足够，泵
事 2.排气阀和油 的轴承润滑子是否适合
故 管发热
2.增加冷却水量
泵 运 1.异物落入泵 1.拆开检查并清除
转有 内
异 噪
常 声
2.泵零件松动 或损坏
2.检查调整或更换零件
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25
旋片泵及原理其示意图
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26
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27
故障及其排除方法
.极限压力与极限全压力 不好的原因判断和消除方法
。
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9
3.冷阱
使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不 能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子 通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；
1.两个油分子之间的碰撞；
2.油分子和气体分子的多次碰撞；
3.没被捕集的油分子反弹到高真空的 区域中；
4.室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵
系统采用液态冷阱后可获得10-8pa ~ 10-9pa
1.打开气镇阀运转1~2小时可恢复泵的极限 压力或调换所有新油 2.修理或更换密封装置 3.旋紧螺母 4.换新阀片 5.换新弹簧 6.旋紧螺钉 7.修理油阀.导轨.清洗所有零件 8.清洗滤油器滤网及油路 9.冷却至常温
9.吸入气体温度过高 10.加油
10.泵油量不足
11.修理或更换小邮箱内橡皮版
11.油路组件的小油封 漏气
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29
3.带系统后抽不好，有明显漏气， 接头.管道或容器有漏气，应擦找 和消除。
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16
扩散泵结构示意图
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19
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20
滑阀泵及原理其示意图
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21
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22
滑阀泵故障现象及排除方法
故障现 象
真 空 度 不 高
产生 原因
Байду номын сангаас排除方法
1.油被污染 2.密封装置漏气 3.油管接头漏气 4.排气阀片损坏 5.排气阀弹簧断裂 6.个封面漏气 7.泵内零件有幢击.卡 紧.变形 8.油路阻塞
1.新泵.泵口检测，全压力不好，旋去加 油赛，无明显漏气声，可能是因存放 日久和不当，有水气等进入泵内，可 密闭泵口开气镇阀2- -4小时，应有所 回升，或更换新油，可更显著。
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2.无漏气声，开气镇阀及换油无效 ，应检查阀座上的小油空是否堵塞 ，小孔的位置：2X-4C泵在阀坐侧 面，2X-8,15泵在短阀片处月牙槽 内，2X-30A，70A在短阀片附近的 阀座平面上。
示)
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2
反流示意图
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3
2.气体分子的反扩散
在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入 高真空端，特别是某些质量较轻的气体， 如氢.氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散 最大，可达10-3 mg/h，氮的反扩散较小， 约为10-7 mg/h.
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4
3.扩散泵油的裂化分解
此外，机械泵油反流到扩散泵中，也 产生分裂物，使扩散泵的真空受到影 响。
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6
4.真空泵的清洁度
清洗不干净的真空泵，污染物会留 在泵中并重复循环，影响泵极限真 空。
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7
提高油扩散泵极限真空的方法
1.扩散泵结构设计上的改进
改进扩散泵的结构，如加分
流装置;合理的分配锅炉的加热功
的极限真空
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10
4. 吸附阱 扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化
铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得 10-8 ~ 10-9 真空度。这种阱有如下缺点：
1.吸附剂易粉末化； 2.吸附剂要在活化； 3.需经常更换吸附剂，操作不便。 5.钛升华阱
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11
扩散泵与真空室之间装上用液氮 冷却的钛升华阱，即可以消除有机 物真气对系统的污染，又能降低 CO.CO2 和 H2
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12
阀门
扩散泵的返流，在泵启动和停 止后的一段时间内有两个最大 峰值，泵运转时可利用阀门的 关闭避开这两个最大返油区。
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13
减少气体的反扩散
反扩散过去的气体的分压Pf和 扩散泵前级排气口处该气体的 分压Pj成正比，即Pf=rPj。降低 前级压力Pj和压缩比r可以降低 Pj。
真空泵常见问题
扩散泵.罗茨泵.旋片泵.滑阀泵.；现在我 们对相关问题进行讨论。
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1
扩散泵
影响扩散泵性能的因素
1.扩散泵油蒸气的反流
扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因： *泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示） *喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如 图2所示）
*一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示） *喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示 *室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所
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14
扩散泵的前级再串接一台扩散 泵可以降低前级气体分压Pj。 采用多级泵（目前多采用四级 泵代替原来的三级泵），则可 以降低压缩比r，使返扩散减少 。
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15
五.用扩散泵获得高真空的方法
1.选用性能好的扩散泵油 2.采用合理的烘烤技术 3增加冷阱装置，防止泵油返流
和迁移 4.减少被抽气体的反扩散
率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角
设计；在一级导流管中加装加热器
进行气象加热，以增加蒸汽流速度
减少真气流的散射。上述措施也可
减少油的裂化，反流，提高扩散泵
的极限真空。
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8
减少油蒸气的反流
1.加挡油帽 在第一级喷嘴上面，加水冷挡油
帽，通常可使反油量降低半个到两 个数量级。
2. 障板 使用水冷或低温介质冷却的各种挡 板，可使反油量大大降低。
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23
1.电机负载过大或 1.找出负荷过大或烧断原因，
运 保险丝烧断
调换保险丝。
2.缺乏润滑油
2.畅通油路，拆洗泵内零件，
转 3.外物夹住 4.振动很大
加真空油 3.清除外面杂物
故 5.油杯喷油
4.加固地基底座 5.油封反向，按结构图从新
安装油封 障
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运 1.轴承发热 1.稍松皮带或检查油路是否
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在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温. 金属催化作用以及油爆发式沸腾，是 高分子的有裂化成低分子的碳氢化合 物及轻的气体(H2.CH4.C2H6等)。这些 裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很 高，限制了扩散泵的极限真空。
行
阻塞，冷却水是否足够，泵
事 2.排气阀和油 的轴承润滑子是否适合
故 管发热
2.增加冷却水量
泵 运 1.异物落入泵 1.拆开检查并清除
转有 内
异 噪
常 声
2.泵零件松动 或损坏
2.检查调整或更换零件
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旋片泵及原理其示意图
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故障及其排除方法
.极限压力与极限全压力 不好的原因判断和消除方法
。
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3.冷阱
使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不 能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子 通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；
1.两个油分子之间的碰撞；
2.油分子和气体分子的多次碰撞；
3.没被捕集的油分子反弹到高真空的 区域中；
4.室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵
系统采用液态冷阱后可获得10-8pa ~ 10-9pa
1.打开气镇阀运转1~2小时可恢复泵的极限 压力或调换所有新油 2.修理或更换密封装置 3.旋紧螺母 4.换新阀片 5.换新弹簧 6.旋紧螺钉 7.修理油阀.导轨.清洗所有零件 8.清洗滤油器滤网及油路 9.冷却至常温
9.吸入气体温度过高 10.加油
10.泵油量不足
11.修理或更换小邮箱内橡皮版
11.油路组件的小油封 漏气
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3.带系统后抽不好，有明显漏气， 接头.管道或容器有漏气，应擦找 和消除。
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扩散泵结构示意图
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滑阀泵及原理其示意图
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滑阀泵故障现象及排除方法
故障现 象
真 空 度 不 高
产生 原因
Байду номын сангаас排除方法
1.油被污染 2.密封装置漏气 3.油管接头漏气 4.排气阀片损坏 5.排气阀弹簧断裂 6.个封面漏气 7.泵内零件有幢击.卡 紧.变形 8.油路阻塞
1.新泵.泵口检测，全压力不好，旋去加 油赛，无明显漏气声，可能是因存放 日久和不当，有水气等进入泵内，可 密闭泵口开气镇阀2- -4小时，应有所 回升，或更换新油，可更显著。
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2.无漏气声，开气镇阀及换油无效 ，应检查阀座上的小油空是否堵塞 ，小孔的位置：2X-4C泵在阀坐侧 面，2X-8,15泵在短阀片处月牙槽 内，2X-30A，70A在短阀片附近的 阀座平面上。
示)
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反流示意图
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2.气体分子的反扩散
在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入 高真空端，特别是某些质量较轻的气体， 如氢.氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散 最大，可达10-3 mg/h，氮的反扩散较小， 约为10-7 mg/h.
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3.扩散泵油的裂化分解
此外，机械泵油反流到扩散泵中，也 产生分裂物，使扩散泵的真空受到影 响。
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4.真空泵的清洁度
清洗不干净的真空泵，污染物会留 在泵中并重复循环，影响泵极限真 空。
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提高油扩散泵极限真空的方法
1.扩散泵结构设计上的改进
改进扩散泵的结构，如加分
流装置;合理的分配锅炉的加热功
的极限真空
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10
4. 吸附阱 扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化
铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得 10-8 ~ 10-9 真空度。这种阱有如下缺点：
1.吸附剂易粉末化； 2.吸附剂要在活化； 3.需经常更换吸附剂，操作不便。 5.钛升华阱
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扩散泵与真空室之间装上用液氮 冷却的钛升华阱，即可以消除有机 物真气对系统的污染，又能降低 CO.CO2 和 H2
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阀门
扩散泵的返流，在泵启动和停 止后的一段时间内有两个最大 峰值，泵运转时可利用阀门的 关闭避开这两个最大返油区。
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减少气体的反扩散
反扩散过去的气体的分压Pf和 扩散泵前级排气口处该气体的 分压Pj成正比，即Pf=rPj。降低 前级压力Pj和压缩比r可以降低 Pj。
真空泵常见问题
扩散泵.罗茨泵.旋片泵.滑阀泵.；现在我 们对相关问题进行讨论。
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1
扩散泵
影响扩散泵性能的因素
1.扩散泵油蒸气的反流
扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因： *泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示） *喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如 图2所示）
*一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示） *喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示 *室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所
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扩散泵的前级再串接一台扩散 泵可以降低前级气体分压Pj。 采用多级泵（目前多采用四级 泵代替原来的三级泵），则可 以降低压缩比r，使返扩散减少 。
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15
五.用扩散泵获得高真空的方法
1.选用性能好的扩散泵油 2.采用合理的烘烤技术 3增加冷阱装置，防止泵油返流
和迁移 4.减少被抽气体的反扩散
率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角
设计；在一级导流管中加装加热器
进行气象加热，以增加蒸汽流速度
减少真气流的散射。上述措施也可
减少油的裂化，反流，提高扩散泵
的极限真空。
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8
减少油蒸气的反流
1.加挡油帽 在第一级喷嘴上面，加水冷挡油
帽，通常可使反油量降低半个到两 个数量级。
2. 障板 使用水冷或低温介质冷却的各种挡 板，可使反油量大大降低。
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23
1.电机负载过大或 1.找出负荷过大或烧断原因，
运 保险丝烧断
调换保险丝。
2.缺乏润滑油
2.畅通油路，拆洗泵内零件，
转 3.外物夹住 4.振动很大
加真空油 3.清除外面杂物
故 5.油杯喷油
4.加固地基底座 5.油封反向，按结构图从新
安装油封 障
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运 1.轴承发热 1.稍松皮带或检查油路是否