玻璃减薄技术
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Item
Picture
自动研磨
手动研磨
适应产品 可修复不良
无破损产品 不良率高发,严重不良
所有产品 不良率较低的轻微不良
CAPA
Q-panel抛光,效率高
针对单点不良修复,效率低
22
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀
23
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃本身含有杂质.
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
8
TFT-LCD面板 玻璃减薄
1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良
9
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
10
减薄工艺简介
封胶
减薄
研磨
防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ,破坏封框胶,进 入Cell内部,影响 产品性能。
用酸碱对Glass进 行刻蚀,从而达到 减薄的目的。
LOGO
玻璃减薄 技术
材科112 贺文杰 201101524215
浮法减薄技术 TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及 不良简介
2
浮法减薄技术
1 2 3 4 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型原理 玻璃液的拉薄 影响成型质量的因素
3
浮法玻璃成型的定义
浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽,在锡槽中漂浮在熔融锡液表面,在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮,通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移,在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程,成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。
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其它不良
1.电阻超标 原因: 酸残留
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与减薄有关的性耐性
牢固度确认
对LCM进行冲击和跌落。 对LCM进行显示检查和外观检查
玻璃基板表面蚀刻状况确认
将其放入冷热交替的冷热槽中
对LCM进行显示检查和显微镜 Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
高温高湿的老化槽内进行的持续老化。
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减薄清洗单元(后)
a. DI水 b. 常温 C. 5min
DI浸泡
碱浸泡
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
酸浸泡
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
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研磨
Reject
ຫໍສະໝຸດ Baidu
外观检查
Polishing
清洗
外观检查
获得光亮、平整的 表面。
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封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
12
封胶
GLS
UV灯
边框胶
加盖遮光垫
涂胶
UV固化
涂胶后检查
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25
Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
26
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
27
Slimming后划伤
3.轮印
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造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象: ADS产品做完B-ITO后,产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ,类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因: BOX在Slimming车间长期周转,slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着,从而使BOX表面呈现酸性
玻璃表面
1. 除胶未干净,有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障(Conveyer) 2.瀑布流分叉(瀑布流蚀刻方式) 3.Nozzle堵塞(喷淋式蚀刻方式)
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Slimming后划伤
Human eye invisible
Slimming
Slimming前发生轻微Scratch
Slimming后Scratch程度加重
SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析
31
End
谢谢!
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减薄原理及方式
6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O
1
液体+固体(玻璃)->液体
2
原理及方式
4
3
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三种方式优缺点
瀑布流 单片直立喷洒 多片直立浸泡
优点: 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点: 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫,容易粘 附在Glass上。
优点: 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点: 1.蚀刻表面易产生 凹点。
4
浮法玻璃成型原理
浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡 液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃 液的拉薄或增厚。
5
玻璃液的拉薄
玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时,在锡液面上 形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于 自然厚度的玻璃时,必须对玻璃带施加一定的拉 力。但是当增加拉引速度时,随着拉引力的增加 ,玻璃宽度和厚度就成比例地减小,因为在玻璃 带被拉薄的同时,表面张力的作用使得玻璃带增 厚或使带宽有所收缩,因此要使拉薄过程有效地 、顺利地进行,必须选择适宜的温度范围、采用 合理的工艺参数和拉薄措
优点: 1.表面最光滑,甚 至可以不用抛光
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减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
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减薄设备
Loader 单元 其余组件: 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
温度控制器
洗气装置
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减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
6
玻璃液的拉薄
施。实践证明,温度范围883~769℃,有利于 玻璃带的拉薄,同时,玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度,在拉薄区玻璃带的两边,可根据工艺要 求安置若干个拉边机。
7
影响成型质量的因素
影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合,任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降,严重者可导致 停产,其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
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减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
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减薄工艺参数
3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系
说明: (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分,因为以氢键形式存在 的H-F键比HF分子中的H-F键更 脆弱,与SiO2反应时更容易断裂。