玻璃减薄技术

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自动研磨
手动研磨
适应产品 可修复不良
无破损产品 不良率高发，严重不良
所有产品 不良率较低的轻微不良
CAPA
Q-panel抛光，效率高
针对单点不良修复，效率低
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减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀
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减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃本身含有杂质.
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
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TFT-LCD面板 玻璃减薄
1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良
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减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
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减薄工艺简介
封胶
减薄
研磨
防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ，破坏封框胶，进 入Cell内部，影响 产品性能。
用酸碱对Glass进 行刻蚀，从而达到 减薄的目的。
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玻璃减薄 技术
材科112 贺文杰 201101524215
浮法减薄技术 TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及 不良简介
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浮法减薄技术
1 2 3 4 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型原理 玻璃液的拉薄 影响成型质量的因素
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浮法玻璃成型的定义
浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。
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其它不良
1.电阻超标 原因： 酸残留
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与减薄有关的性耐性
牢固度确认
对LCM进行冲击和跌落。 对LCM进行显示检查和外观检查
玻璃基板表面蚀刻状况确认
将其放入冷热交替的冷热槽中
对LCM进行显示检查和显微镜 Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
高温高湿的老化槽内进行的持续老化。
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减薄清洗单元（后）
a. DI水 b. 常温 C. 5min
DI浸泡
碱浸泡
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
酸浸泡
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
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研磨
Reject
ຫໍສະໝຸດ Baidu
外观检查
Polishing
清洗
外观检查
获得光亮、平整的 表面。
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封胶
UV胶
封胶工艺
防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部
1. 加盖遮光垫
一般在这之前 还会进行检查。
2.涂胶
涂胶后静置 1min。
3.擦胶
清除多的UV胶。
4. UV固化
UV固化后检查
破坏TFT结 构
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封胶
GLS
UV灯
边框胶
加盖遮光垫
涂胶
UV固化
涂胶后检查
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Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
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Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
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Slimming后划伤
3.轮印
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造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
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Slimming后划伤
Human eye invisible
Slimming
Slimming前发生轻微Scratch
Slimming后Scratch程度加重
SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析
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End
谢谢！
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减薄原理及方式
6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O
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液体+固体（玻璃）->液体
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原理及方式
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三种方式优缺点
瀑布流 单片直立喷洒 多片直立浸泡
优点： 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫，容易粘 附在Glass上。
优点： 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点： 1.蚀刻表面易产生 凹点。
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浮法玻璃成型原理
浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡 液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃 液的拉薄或增厚。
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玻璃液的拉薄
玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上 形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于 自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉 力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加 ，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃 带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增 厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地 、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用 合理的工艺参数和拉薄措
优点： 1.表面最光滑，甚 至可以不用抛光
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减薄流程
清洗 Text in here
蚀刻
Slimming
清洗
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减薄设备
Loader 单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元
蚀刻单元
清洗单元
干燥单元
Unloader 单元
温度控制器
洗气装置
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减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
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玻璃液的拉薄
施。实践证明，温度范围883～769℃，有利于 玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要 求安置若干个拉边机。
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影响成型质量的因素
影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致 停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
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减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
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减薄工艺参数
3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系
说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分，因为以氢键形式存在 的H－F键比HF分子中的H－F键更 脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。